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(1)非单向流洁净室
这类洁净室广泛应用于无尘净化工程中,这类洁净室的净化,空调系统的送回风通常采用顶送侧回、顶送顶回等方式,在洁净生产区的技术夹层或技术夹道内布置送回风管、排风管和各种公用动力管线等。所谓公用动力管线主要包括自来水、纯水、各类气体或液体管道和电力、照明及通信线缴等。若在技术夹层设有可燃气体管道时,应设置报警装置、排风装置等。
(2)单向流洁净室
单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。在生物医药产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等来满足产品生产工艺的要求。在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线,甚至数条生产线的主要工序均需设置在严于5级(100级)的洁净室内,才能达到产品生产的要求。
目前超大规模集成电路生产要求微粒控制粒径0.1pm、0.05um,达到1级或更严级别的要求、为此,无尘净化工程中单向流洁净室的空间布置已从“单层”布置发展到“多层”布置(这里的“单层” “多层”与通常所说的单层或多层厂房有所不同,因为这里“单层” “多层”均设有与工艺生产层相通的上下技术夹层,为加以区别,将这里所叙述的“单层” “多层”增加符号.”)。
“单层”布置的单向流洁净厂房,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线,万级净化工程中通过设在顶棚上的高效过滤器向洁净生产区均匀送风;通过设在下技术夹层的回风地板回风至空气处理装置。
供应洁净生产区所用的部分公用,动力管线、设备和工艺生产用管线、设施等同层布置洁净生产区的邻近处。这种空间布置的灵活性较差,当产品生产工艺或产品数量扩大时,进行工艺平面布置调整较为困难,需要较长的技术改造时间技术改造费用增加。